赛腾股份：公司在晶圆边际检测体系中开发明暗场结合激光光学技能
时间: 2025-05-25 19:07:21 | 作者: 新闻中心
证券之星音讯，赛腾股份(603283)03月20日在出资者联系平台上答复出资者关怀的问题。
出资者发问：你好贵司晶圆缺点查验测验设备与行业龙头（KLA）比照，贵司优势除了本土化出产，检测技能方面有哪方面的逾越
赛腾股份回复：敬重的出资者您好，感谢您对公司的重视！公司在晶圆边际检测体系中开发明暗场结合激光光学技能，针对晶圆键合工艺中thinning、trimming、bonding、coating制程段增加了晶圆修边起伏、加工尺度检测、晶圆bonding对准检测、粘合物工艺监测、EBR监测以及bonding过程中呈现的气泡、碎片、脱落、聚合物残留等新的缺点查验测验功用，完善了对HBM、TSV制程工艺的不良监控，谢谢！
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